EPROM

EPROM(Erasable Programmable ROM)は、デバイスの利用者が書き込み・消去可能なROMである。

• UV-EPROM(紫外線消去PROM)

• インテルが1971年に開発した紫外線を当てることで消去できるPROM。

MOSトランジスタのゲートを開放しておき(フローティングゲート)、高い電圧で電子をゲートに注入することで書き込みを行う。フローティングゲート上の電子は周囲から絶縁されているので電源を切っても消去されないため、ROMとして用いられる。消去は紫外線を照射して電子を励起し、ゲートの絶縁膜を通過できるようにして行う。このため、UV-EPROMのパッケージには紫外線を透過する石英ガラス製の窓が設けられており、一目でUV消去タイプと見分けることができる。

なお、多品種少量生産向けに、パッケージ封止をプラスチックモールドにして窓を廃し、ワンタイムPROMとした製品もあったが、メモリチップ自体は普通のUV-EPROMである。

• EEPROM(電気的に消去可能なPROM)

フローティングゲートからドレインにトンネル効果を利用して電子を引き抜くことにより、電気的な操作のみで消去を行うようにしたもの。EEPROMは回路基板に実装したままで書込み・消去ができる不揮発性メモリなので、利用時に書き換えが必要な用途、例えば機器の動作設定データや、利用者固有の情報を保存するのに適する。初期には容量が小さく、デバイスも高価であり、また書込み・消去の所要時間がRAMに比べて長かったが、フラッシュメモリの登場により改良され、広く普及した。