走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡 (そうさがたぷろーぶけんびきょう, Scanning Probe Microscope; SPM) は、先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡の種類である。