ベーキング

真空装置のチャンバー内壁には、様々な不純物が吸着する。それらは高真空を得る際の妨げとなるため、チャンバー外壁にテープ状またはワイヤ状のヒータを巻いて、チャンバー全体を熱することをベーキングと言う。真空ポンプで引きながらベーキングを行うことにより、チャンバー内の残留不純物（特にチャンバーオープン後は水が多い）を取り除くことができる。