オージェ電子分光

オージェ電子分光（オージェでんしぶんこう）は、電子分光のひとつ。

原子の内殻電子をX線や電子ビームで放出させると、励起状態イオンが生成するが、励起状態イオンは(1)X線を放出する、(2)内殻軌道に外殻電子が遷移し、そのエネルギーをもって他の外殻電子が放出され、多重イオン化する、のいずれかの過程で脱励起する。