イオン顕微鏡

イオン顕微鏡（ - けんびきょう）は電子顕微鏡の電子の代わりに陽子、ヘリウム、リチウムなどのイオンを使って拡大像を得る装置。イオンの物質波の波長は電子より短いので、同じ加速電圧の電子顕微鏡より分解能が高く、結晶面の原子配列を観察できる。1951年米国のＥ.Ｗ.ミュラーが創案。